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無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)通常分為十級(jí)，每一級(jí)對(duì)空氣中的粒子數(shù)量有更嚴(yán)格的限制。

1級(jí)無(wú)塵車間。通常用于制造集成電路等精密工業(yè)，要求每立方米空氣中大于或等于0.5微米的粒子數(shù)量不超過10個(gè)。

10級(jí)至1級(jí)無(wú)塵車間。每降一級(jí)，對(duì)空氣中粒子的限制更嚴(yán)格，例如，10級(jí)無(wú)塵車間的粒子數(shù)量限制是每立方米不超過100萬(wàn)個(gè)0.5微米的粒子。

此外，ISO標(biāo)準(zhǔn)中還有其他級(jí)別的無(wú)塵車間，如ISO 2級(jí)至ISO 9級(jí)，這些級(jí)別主要針對(duì)空氣中大于或等于0.5微米的粒子數(shù)量，不同級(jí)別的差異在于粒子數(shù)量的上限不同。